簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "functional".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="化學機械拋光"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    應用改良之TRIZ理論結合QFD於補償式化學機械拋光終點偵測及補償路徑之改善
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 黃浩誠 指導教授: 林榮慶
    • 本論文主要研究發展出一套產品的創研流程,將群組的概念套用於QFD及TRIZ中,對品質屋及技術衝突矩陣進行改造,再將兩者銜接合併成一完整之研發流程。 以補償式化學機械拋光為載具,作為進行創新研發之案例…
    • 點閱:244下載:1

    2

    整合文字探勘和本體論 於碳化矽晶圓化學機械拋光製程 專利分析研究
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 邱靖惠 指導教授: 陳炤彰
    • 隨著電子電力系統需求的規格逐年提升,碳化矽(Silicon Carbide, SiC)被視為未來高功率元件的理想材料,但因SiC本身的高硬度及高抗化學性,使其在化學機械拋光(Chemical Mec…
    • 點閱:270下載:2
    1